制備多晶硅薄膜電池多采用化學(xué)氣相沉積法，包括低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）和等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）工藝。多晶硅薄膜電池由于所使用的硅材料較單晶硅少，又無效率衰退問題。
 
并且可以在廉價(jià)襯底材料上制備，其成本遠(yuǎn)低于單晶硅電池，且光電轉(zhuǎn)換效率可以達(dá)到17％，經(jīng)濟(jì)效益較好?？梢灶A(yù)見，多晶硅薄膜電池將會(huì)取代單晶硅電池，成為太陽能電池市場中的主要品種。


非晶硅薄膜太陽能電池于20世紀(jì)70年代中期開發(fā)成功，80年代其生產(chǎn)曾達(dá)到高潮，約占當(dāng)時(shí)全球太陽能電池總量的20％左右，但由于非晶硅太陽能電池轉(zhuǎn)化效率低于晶體硅太陽能電池，而且非晶硅太陽能電池存在光致衰減效應(yīng)的缺點(diǎn)（光電轉(zhuǎn)換效率會(huì)隨著光照時(shí)間的延續(xù)而衰減），其發(fā)展速度逐步放緩。
 
目前，非晶硅薄膜太陽能電池產(chǎn)量約占全球太陽能電池總量的12％左右。非晶硅薄膜太陽能電池更少的使用硅材料，成本低，便于大規(guī)模生產(chǎn)，而且近期在轉(zhuǎn)換效率方面也有較大突破：較優(yōu)技術(shù)下的、三疊層結(jié)構(gòu)非晶硅太陽能電池轉(zhuǎn)換效率達(dá)到了13％，縮小了與多晶硅電池在轉(zhuǎn)換效率上的差距。
 
因此，在硅材料價(jià)格持續(xù)上漲的背景下，非多晶硅重新得到人們的重視。我們認(rèn)為，非晶硅太陽能電池仍然有著巨大的發(fā)展?jié)摿?，未來將成為太陽能電池的重要組成部分之一。http://www.dgzhenghang.cn